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超结MOS这么厉害了,为什么还是被碳化硅MOS替代?
来源: | 作者:张工 | 发布时间: 2025-05-16 | 89 次浏览 | 分享到:

Si MOS(硅基MOSFET)、超结MOS(Super Junction MOSFET,简称SJ-MOS)和碳化硅MOS(SiC MOSFET)是三种不同材料与结构的功率半导体器件,其核心区别在于材料特性、性能参数以及应用场景。今天就来看一下这三者之间的差异到底在哪里?碳化硅MOS到底有什么“过人之处”?

一、差异到底在哪里:

1、材料特性差异

Si MOS:基于传统硅材料,禁带宽度1.1 eV,击穿电场强度约0.3 MV/cm,导热系数1.5 W/cm·K。硅材料在高电压、高温场景下性能受限,导通电阻随耐压值呈指数级增长。

超结MOS:采用硅基材料,但通过超结(Super Junction)结构(交替排列的P/N柱)优化电场分布,降低导通电阻。其耐压能力可达600-900V,导通电阻相比传统Si MOS更低,但高频性能仍受硅材料限制。

碳化硅MOS:基于第三代宽禁带半导体材料碳化硅(SiC),禁带宽度3.26 eV,击穿电场强度3 MV/cm(硅的10倍),导热系数4.9 W/cm·K(硅的3倍)。这些特性使其耐压能力、高温稳定性和散热效率显著提升。

2、结构与性能差异

导通电阻:

Si MOS在高压下导通电阻急剧增加(如900V时需较大芯片面积);

超结MOS通过结构优化降低导通电阻,但受限于硅材料的物理极限;

碳化硅MOS由于高击穿场强,漂移层厚度仅为硅的1/10,导通电阻更低。例如,900V耐压下,SiC-MOS芯片尺寸仅为Si-MOS的1/35、SJ-MOS的1/10。

开关特性:

Si MOS和超结MOS开关损耗较高,频率上限约60kHz;

碳化硅MOS开关损耗仅为硅器件的1/5~1/10,支持MHz级高频开关,且无IGBT的尾电流问题,显著降低能量损耗。

温度稳定性:

Si MOS在150℃以上性能显著下降;

碳化硅MOS在200℃以上仍稳定工作,导通电阻随温度变化率低(150℃时仅比室温高20%),适合高温环境。

3、应用场景

Si MOS:广泛用于低压、低频场景(如消费电子电源)。

超结MOS:适用于中高压、中等频率场景(如服务器电源、工业变频器)。

碳化硅MOS:专为高压、高频、高温场景设计,如新能源汽车电机驱动、光伏逆变器、快充桩、轨道交通等。

二、碳化硅MOS脱颖而出的原因:

1、材料本质优势

高压能力:击穿场强是硅的10倍,支持3300V以上耐压,无需复杂电导率调制即可实现低导通电阻。

高频低损:开关速度更快(纳秒级),开关损耗减少90%,支持高频化设计,被动元件(电感、电容)体积缩小30%-50%。

高温可靠性:结温可达175℃以上,简化散热设计,适用于高温环境(如电动汽车引擎舱)。

2. 系统级效益

效率提升:在新能源汽车中,碳化硅MOS可将逆变器效率提升5%-10%,续航增加30-50公里;在光伏逆变器中,效率高达99%以上。

体积与成本优化:高频特性减少外围元件体积,系统功率密度提升(如65W快充功率密度达41.5W/in³)。尽管器件成本较高,但系统总成本(散热、被动元件等)逐渐接近硅基IGBT,预计2年内持平。

3. 市场与技术驱动

新能源汽车需求:特斯拉Model 3率先采用全碳化硅模块,比亚迪、蔚来等跟进,推动碳化硅在800V高压平台的应用。

政策与环保趋势:碳化硅契合“双碳”目标,减少能源转换损耗,支持绿色电网、可再生能源等领域。

4. 技术突破与成本下降

制造工艺改进:外延生长、栅氧层界面优化等技术逐步成熟,良率提升(如天岳先进衬底良率接近50%)。

规模效应:6英寸碳化硅晶圆产能扩大,衬底成本从硅的20倍逐步下降,预计2025年全球需求达728万片,推动价格降低。

三、总结

碳化硅MOS凭借材料性能的先天优势(宽禁带、高击穿场强、高热导率)和系统级的高效、小型化特性,逐步替代硅基器件在高压高频场景中的主导地位。尽管面临成本高、工艺复杂等挑战,但技术进步与市场需求的双重驱动使其成为功率半导体领域的未来主流。相比之下,Si MOS和超结MOS受限于硅材料的物理极限,主要在中低压场景中维持应用,而碳化硅MOS则在新能源、工业、航天等高端领域持续拓展。


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