当高功率器件的功率密度向 “极限” 冲刺时,“散热” 是决定器件 “能否存活” 的生死线 —— 这也是第三代宽禁带半导体(氮化镓、碳化硅)及以氧化镓为代表的第四代半导体中从实验室走向产业化的最大拦路虎。近日,近日,西安电子科技大学的郝跃院士、张进成、周弘、冯欣等团队提出双面封装与微通道冷却集成的主动热管理策略,通过纳米银烧结工艺实现双面封装,搭配铜基微通道冷却模块,使器件结 - 环境热阻从 39.8 K/W 降至 13.3 K/W(降低 66.6%),4.5 W 功耗下结温低至 88.6℃(下降 58%);电性能上,3 V 偏压下工作电流达 1025.4 mA(提升 19.8%),比导通电阻至少降低 12.1%,6000 s 导通应力下电流仅衰减 7.3%,有效解决了高功率密度电子器件的热管理瓶颈,为下一代超高压电力电子应用奠定基础。研究成果以“High-performance and high-reliability Ga₂O₃ Schottky barrier diodes enabled by double-side packaging integrated with microchannel cooling”为题发表在《International Journal of Thermal Sciences》期刊。
一 为什么传统散热 “救不了” 高功率器件?
先搞懂一个核心矛盾:第四代超宽禁带半导体(比如氧化镓)的 “耐压能力” 是碳化硅的 2 倍、硅的 10 倍,但它的导热率仅为硅的 1/10—— 这意味着:相同功率下,氧化镓芯片的结温会 “飙升到失控”。
传统散热的问题更致命:
- 常规焊料:导热率低(仅 50-80 W/(m・K)),还容易在高温下失效;
- 被动散热:靠散热器 “慢慢散”,根本追不上高功率器件的产热速度。
二 西电方案的 “三维破局”:从材料到结构的全链路革新
郝跃团队的方案,是从 “材料、结构、系统” 三个维度把散热效率拉满:
1. 材料破局:纳米银烧结,把 “导热瓶颈” 砸穿
他们用纳米银烧结工艺替代传统焊料,实现芯片的 “双面键合”:
- 纳米银的导热率高达 240 W/(m・K),是锡铅焊料的 3 倍;
- 烧结后形成的银层耐高温(>700℃)、热膨胀系数与芯片更匹配,既打通了 “芯片顶部 + 底部” 的双散热通道,又避免了传统焊料的 “热疲劳失效”。
2. 结构破局:铜基微通道,让热量 “贴脸跑路”
在双面封装结构中,他们集成了百微米级铜基微通道冷却模块:
- 微通道直接与芯片表面贴合,热流路径从 “厘米级” 缩短到 “百微米级”,热阻直接砍半;
- 铜的导热率(401 W/(m・K))+ 流体强制对流,能把芯片热量 “实时抽走”—— 相当于给芯片装了 “贴身空调”。
3. 系统破局:“封装 + 冷却” 集成,把热阻压到极致
图3. 两种封装配置下器件的瞬态热响应:底部封装器件为 2.8 W,双面封装器件为 3.3 W
图6. (a) 不同封装结构下自然对流风冷与微通道冷却的功率-温度特性曲线。 (b) 两种封装结构在不同微通道冷却条件下的 I-V 曲线
图7. (a) 雷诺数与流速的关系。 (b) 压降与泵送功率随流速的变化。 (c) 努塞尔数与雷诺数的关系。 (d) 热阻与泵送功率的权衡关系。
图9. 不同冷却方式下阳极电压为 3 V 时的导通电流与热阻性能对比(A:底部自然对流冷却;B:底部微通道冷却;C:双侧自然对流冷却;D:双侧微通道冷却)。
这套方案的核心是 “不做单点改进,而是系统集成”:双面封装负责 “打通热流通道”,微通道冷却负责 “加速热流排出”,两者结合直接让器件结 - 环境热阻从 39.8 K/W 降至 13.3 K/W(降幅 66.6%)—— 热阻每降 1 K/W,意味着相同功率下结温能降 1℃,这对高功率器件是 “生死级” 的提升。
三 不止 “降温”:这是超高压电力电子的 “入场券”
结温控制
4.5 W 功耗下,结温从传统方案的 160℃级压到 88.6℃(降幅 58%),远低于器件失效阈值;性能释放
3 V 偏压下工作电流达 1025.4 mA(提升 19.8%),比导通电阻降低 12.1%—— 散热瓶颈一破,器件的 “性能上限” 直接被拉高;可靠性
6000 s 导通应力下电流仅衰减 7.3%,是传统方案的 3 倍以上。
更关键的是:这套方案让氧化镓器件的 “实用化” 成为可能—— 未来在 800V 高压快充、10kV 以上智能电网、兆瓦级风电变流器中,国产高功率器件终于能摆脱 “散热枷锁”,站到国际第一梯队。从 “材料焊料” 到 “系统集成”,西电团队的突破,是把 “高功率器件散热” 这个 “卡脖子” 难题,变成了国产器件的 “技术壁垒”—— 下一代电力电子设备的 “心脏”,终于能装上 “中国造的散热器” 了。
以上部分图片来自:国际导热散热展
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